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    矽片的機械化學複合拋光處理

    作者:admin 發表時間:2013-08-24 人氣:
      對矽片進行機械化學拋光處理,超微磨粉與堿性溶液混合而成的拋光劑以及人造皮革進行拋光,可以達到工件表麵變質層很輕微的高品位鏡麵加工。
    矽片的機械化學複合拋光處理

      拋光壓力的增加,其磨粒的機械作用的加強,拋光器與工件之間接觸麵積的增加,所參與的有效的磨粒量也會增加,會加大拋光加工的速度,由於機械加工的加工速度高比不同拋光液進行速度要高很多,所得到的表麵粗糙度更高,機械化學拋光是一種有效的工藝加工方法。

      能夠加工出超大規模的集成電路的矽片,所得到的矽微粒遊離磨粒來進行矽片表麵的研磨加工,整體誤差以及局部厚度誤差都接近於0。

    文章作者:深圳市好色先生TV网站研磨技術有限公司
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